描述：测量范围:大视野194x135mm（单视野35x28mm)
小视野162x108mm（单视野10x6mm)
大视野模式:①无拼接士2μm
②有拼接±（4+0.02L)
小视野模式：①无拼接士0.7μm
②有拼接±（2.7+002L)
光栅尺：高精度光栅尺，X、Y轴0.1μm分辨率
CCD：高分辨率工业级2000万像素
镜头：单视野双远心镜头&FA镜头
表面光（电动）4分区中低角度环形照明
透射光源：远心平行照明（绿色）
同轴光：落射照明
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