描述:BenchMark 450 主要技术参数
XY 精度:E2=(2.5+5L/1000)微米
Z 精度:E1=(2.0+8L/1000)微米 ( 带TTL激光和可选5倍镜头)
英制单位 公制单位
测量范围 18" X18"X6" 450X450x150毫米
尺寸 48" X45"X67" 1210X1140X1700毫米
负载能力 65千克
台面分辨率 0.5微米
光学 双重放大 (物镜 X)
低 高 标配物镜 1X
可选物镜 0.8X,2.5X,5X
照明 LED 背光,LED 同轴面光
可选特征 多色可编程环形灯 (PRL)
Ronchi 栅格自动ju jiao
TTL 激光
旋转分度工作台
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